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关于退火炉的具体操作

2020-01-08 10:50:16

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构,节电60%。


台车与炉体密封采用迷宫式结构,并在台车两侧有自动沙封刀密封装置。炉门密封采用滚道式压紧和弹簧压紧自动机构密封该炉炉体部分采用优质耐火砖结构,保证炉膛密封性。在台车耐压部分采用高铝砖砌筑,下部均添保温砖保温。


对退火炉设备进行安装调试,将温度、输送带速度等设置好,附带有该退火设备的使用说明书以及对生产操作人员进行操作培训是必须的,关于退火炉的具体操作是什么呢?


如果退火炉长时间没用了,一开始先要烘炉(升温),然后才能进行下一步操作:


1、在控制柜内合上空气开关后在柜面上开通电源安钮。

2、虽后再分别开通一区、二区、三区......电源安钮开关。

3、把控温仪设置在200度保温6小时,再设置在500度保温4小时,再设置在800度保温2小时后可以装料使用了。

退火炉

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